一、微型熱式氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品簡介

微型氣體質(zhì)量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列的傳感器均采用先進的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用

于各類清潔氣體。獨特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低，易安裝，不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。

二、微型熱式氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品特點

★ 采用微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片，傳感器具有高精度，高靈敏度，抗干擾性強等特點。

★ 傳感器的零點穩(wěn)定。

★ 量程范圍內(nèi)精度高，重復(fù)性好。

★ 標(biāo)準機械接口，安裝方便。

★ RS485通訊輸出，標(biāo)準MODBUS RTU協(xié)議。

★ 采用LCD顯示瞬時流量和累計流量，清晰直觀，讀數(shù)方便。

★ 可以選配4~20mA標(biāo)準電流信號輸出和脈沖輸出。

三、微型熱式氣體質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)

備注：以上數(shù)據(jù)為在25℃，101.32kPa,干燥空氣下測得

zui小可測流量：0.3NL/min

zui大可測流量：3000NL/min

四、微型熱式氣體質(zhì)量流量計機械尺寸

如果需要更大流量，可定制。

根據(jù)需要可使用標(biāo)準接頭進行接口轉(zhuǎn)換

五、微型熱式氣體質(zhì)量流量計安裝方式

a = 前直管段 b = 后直管段

盡量將控制閥及緩沖切斷閥安裝在熱式氣體質(zhì)量流量計后面。

六、微型熱式氣體質(zhì)量流量計接線說明

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